光学微电子净化工程净化参数换气次数：100000级***15次；10000级***20次；1000***30次。压差：主车间对相邻房间***5pa平均风速：10级、100级0.3-0.5m/s；温度冬季>;16℃；夏季<26℃；波动±2℃。温度45-65%；---剂车间湿度在50%左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。噪声≤65db(a)；新风补充量是总送风量的10%-30%；照度300lx。
b.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房；c.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或单独冷热源；d.维修频率较低；e.车间的噪音低。缺点：a.需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间。另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房，生物洁净室，如25000m3/h的组合式空气处理机组，常用外形尺寸为6450×1850×2250mm左右。对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30┫的机房的；
需要注意的是，洁净室装修，净化车间不是越大越好，面积大小和空间大小与送风量有关。确定空调能耗大小，影响项目投资。但洁净室的空间面积不得太小，太小可能不易操作、维修。因此，设计合理的空间区域应考虑设备运行、维护的需要。生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间区域，千级洁净室，用于放置设备和材料，池州洁净室，便于操作和维护。一般情况下，洁净室高度控制在2.60米，对于个别较高的设备，可局部抬高洁净区高度，但不宜抬高洁净区高度。车间内应有一个物料中间站，面积---存放物料，中间产品，待检产品和成品，并便于明确分区，尽量减少误差和交叉污染。
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